|
Быстродействующий лазерный эллипсометр ЛЭФ-777 |
| |
Эллипсометр ЛЭФ-777 обеспечивает особо высокое быстродействие и точность. ЛЭФ-777 разработан на смену знаменитому ручному эллипсометру ЛЭФ-3М-1 (самому массовому эллипсометру в мире, всего было выпущено в СССР более 500 штук) и является его полностью автоматизированным аналогом. Эллипсометр предназначен для прецизионных измерений толщин и оптических параметров тонких пленок, простых тонкопленочных структур и объемных (в том числе анизотропных) материалов и жидкостей Обеспечивается измерение ультратонких отдельных слоев толщиной от 0.1 ангстрема. |
| Высокая достижимая скорость измерений (до десятков микросекунд) позволяет контролировать протекание поверхностных кинетических процессов в реальном времени. |
| Технические параметры |
| Источник света(п/п лазер) |
635 нм |
| Время (единичное измерение) | 1 мсек/точка |
| Погрешность измерения толщины пленки | 0.2 нм |
| Погрешность измерения оптических констант | 0.005 |
| Диапазон измеряемых толщин | до 5000 нм |
| Пределы перемещения координатного столика по двум координатам | 0-25 мм |
| Вертикальное перемещение координатного столика | 0-20 мм |
| Регулировка угла наклона координатного столика | 2° |
| Диапозон углов падания | 45° - 70° и 90° |
| Диаметр рабочего зондирующего луча | 2мм |
| Диаметр измеряемого образца | до 100 мм |
| Интерфейс | USB |
|
Программное обеспечение работает в операционных системах WindowsXP, Windows 7/8 . Программа реализует измерение и накопление данных в автоматическом режиме, обеспечивает управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных. Программное обеспечение имеет интуинтивно понятный интерфейс и включает в себя библиотеку моделирования и фиттинга эллипсометрических измерений, библиотеку материалов для длины волны 635 нм.
|
| Основные возможности программного обеспечения: |
- Измерение толщин и коэффициентов отражения.
- Проведение кинетических измерений (типичное 1 милисекунда).
- Многоугловые измерения.
- Симуляция всех видов для всех видов эллипсометрических измерений , как функций падения света.
- Самодокументирование программы в виде файов измерений, рапортов, содержащих графики и данные измерений.
|
| Программа поддерживает описание следующих моделей и материалов : |
- измеряемая структура может состоять из несколких материалов ( до 3 ) ;
-
тип вхождения материалов может рассчитываться по моделям эффективной среды трех типов: Бруггемана, Максвелла-Гартнера, Лоренц-Лоренца.
|
