вопрос

ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ

ИМ. А.В. РЖАНОВА

   ЭЛЛИПСОМЕТРЫ. ДИАГНОСТИКА И КОНТРОЛЬ ТОНКИХ ПЛЕНОК И СЛОЕВ

Домой     Эллипсометры     Контакты, поддержка, заказ     Работы и публикации     Эллипсометрия в технологиях, науке, производстве     Новости
"Эллипсометры. Диагностика и контроль тонких пленок и слоев"
   
   Спектральный комплекс «ЭЛЛИПС-1991»    Быстродействующий лазерный эллипсометр ЛЭФ-777
 
Быстродействующий лазерный эллипсометр ЛЭФ-777
Spectroscan

Эллипсометр ЛЭФ-777 обеспечивает особо высокое быстродействие и точность. ЛЭФ-777 разработан на смену знаменитому ручному эллипсометру ЛЭФ-3М-1 (самому массовому эллипсометру в мире, всего было выпущено в СССР более 500 штук) и является его полностью автоматизированным аналогом. Эллипсометр предназначен для прецизионных измерений толщин и оптических параметров тонких пленок, простых тонкопленочных структур и объемных (в том числе анизотропных) материалов и жидкостей Обеспечивается измерение ультратонких отдельных слоев толщиной от 0.1 ангстрема.

Высокая достижимая скорость измерений (до десятков микросекунд) позволяет контролировать протекание поверхностных кинетических процессов в реальном времени.
Технические параметры
Источник света(п/п лазер) 635 нм
Время (единичное измерение)1 мсек/точка
Погрешность измерения толщины пленки 0.2 нм
Погрешность измерения оптических констант0.005
Диапазон измеряемых толщин до 5000 нм
Пределы перемещения координатного столика по двум координатам0-25 мм
Вертикальное перемещение координатного столика 0-20 мм
Регулировка угла наклона координатного столика
Диапозон углов падания 45° - 70° и 90°
Диаметр рабочего зондирующего луча2мм
Диаметр измеряемого образцадо 100 мм
ИнтерфейсUSB

Программное обеспечение работает в операционных системах WindowsXP, Windows 7/8 . Программа реализует измерение и накопление данных в автоматическом режиме, обеспечивает управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных. Программное обеспечение имеет интуинтивно понятный интерфейс и включает в себя библиотеку моделирования и фиттинга эллипсометрических измерений, библиотеку материалов для длины волны 635 нм.

Основные возможности программного обеспечения:

  1. Измерение толщин и коэффициентов отражения.
  2. Проведение кинетических измерений (типичное 1 милисекунда).
  3. Многоугловые измерения.
  4. Симуляция всех видов для всех видов эллипсометрических измерений , как функций падения света.
  5. Самодокументирование программы в виде файов измерений, рапортов, содержащих графики и данные измерений.

Программа поддерживает описание следующих моделей и материалов :

  • измеряемая структура может состоять из несколких материалов ( до 3 ) ;
  • тип вхождения материалов может рассчитываться по моделям эффективной среды трех типов: Бруггемана, Максвелла-Гартнера, Лоренц-Лоренца.

© ИФП СО РАН, 2008-2018 гг. последнее обновление апрель 2018г. Aulchenko Nina