вопрос

НАУЧНО- ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ КОМПАНИЯ

"ЦЕНТР НАНОТЕХНОЛОГИЙ"

   ЭЛЛИПСОМЕТРЫ. ДИАГНОСТИКА И КОНТРОЛЬ ТОНКИХ ПЛЕНОК И СЛОЕВ

Домой     Эллипсометры     Контакты, поддержка, заказ     Работы и публикации     Эллипсометрия в технологиях, науке, производстве     Новости
"Эллипсометры. Диагностика и контроль тонких пленок и слоев"
   
   Спектральный комплекс «ЭЛЛИПС-1991»     Быстродействующий лазерный эллипсометр ЛЭФ-777
 

Спектральный комплекс«ЭЛЛИПС-1991»-скорость и точность

Spectroscan
Прецизионная диагностика многослойных тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением в широком спектральном диапазоне; Высокая точность измерений; Высокая производительность измерений; Измерения толщин тонких пленок, оптических параметров тонкопленочных структур и спектральных зависимостей оптических констант материалов всех типов: металлов, полупроводников, диэлектриков, полимеров, жидкостей и др. (в том числе анизотропных).
Комплекс обеспечивает:
  • измерения параметров многослойной структуры (до 6 слоев);
  • определение параметров n и k и толщин всех слоев в рабочем спектальном диапазоне;
  • автоматический подбор параметров образца для фиттинга измереных спектров.
Технические параметры
Спектральный диапазон, нм 350 - 1000 нм
Спектральное разрешение 2,0 нм
Диапазон измеряемых толщин до 50000 нм
Погрешность измерения толщин 0,2 нм
Погрешность измерения
коэффициента преломления 0,005
Время единичного измерения: 1мс/точка
Изменение углов падения 45°-70 ° и 90°
Пределы перемещения предметного столика
по двум координатам 0-25 мм
вертикальное перемещение 0-20 мм
Диаметр светового пучка 3 мм
Интерфейс USB
В комплект поставки входит:
  • Спектральный эллипсометр
  • Гониометр с фиксированным
    изменением угла падения
  • Матричная система позиционирования образца
  • Предметный столик с подвижками
  • Источник излучения
  • Оптоволоконный адаптер
  • Малогабаритный быстродействующий
    дифракционный монохроматор
  • Персональный компьютер
  • 19" LCD монитор

ПО для спектральных эллипсометров включает в себя пакет моделирования, симуляции и фитинга, что позволяет пользователю успешно решать сложные задачи. Наше программное обеспечение предоставляет библиотеку оптических констант материалов и широкое число дисперсионных моделей диэлектрических функций для многих материалов.
Программа имеет интуитивно понятный интерфейс, удобна в использовании. Система управления позволяет проводить измерения в автоматическом режиме, моделировать результаты для дальнейшего их использования.
Основные возможности программы:

  1. Проведение спектральных измерений.
  2. Использование дисперсионных моделей для различных материалов.
  3. Обновление библиотек материалов.
  4. Обширные возможности симуляции для всех видов эллипсометрических измерений, как функций угла падения света, длины волны и других параметров модели симуляции.
  5. Самодокументирование программы в виде файлов измерения, рапортов, содержащих результаты симуляции и фитинга в текстовом и графическом виде.
Программа поддерживает описание следующих моделей свойств материалов:
  • композитные материалы;
  • неравномерные неоднородные слои (линейные, параболические, Gaussian):
  • поддерживает широкий ряд параметризированных материалов (Cauchy, Sellmeier, Lorentz oscillator,Forouhi-Bloomer, и так далее).

© 2008-2018 гг. последнее обновление апрель 2018г. Aulchenko Nina