Спектральный комплекс«ЭЛЛИПС-1991»-скорость и точность |
|
Прецизионная диагностика многослойных тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением в широком спектральном диапазоне;
Высокая точность измерений;
Высокая производительность измерений; Измерения толщин тонких пленок, оптических параметров тонкопленочных структур и спектральных зависимостей оптических констант материалов всех типов: металлов, полупроводников, диэлектриков, полимеров, жидкостей и др. (в том числе анизотропных). |
| Комплекс обеспечивает: |
- измерения параметров многослойной структуры (до 6 слоев);
- определение параметров n и k и толщин всех слоев в рабочем спектальном диапазоне;
-
автоматический подбор параметров образца для фиттинга измереных спектров.
|
| Технические параметры |
| Спектральный диапазон, нм |
350 - 1000 нм |
| Спектральное разрешение |
2,0 нм |
| Диапазон измеряемых толщин |
до 50000 нм |
| Погрешность измерения толщин |
0,2 нм |
| Погрешность измерения |
| коэффициента преломления |
0,005 |
| Время единичного измерения: |
1мс/точка |
| Изменение углов падения |
45°-70 ° и 90° |
| Пределы перемещения предметного столика |
| по двум координатам |
0-25 мм |
| вертикальное перемещение |
0-20 мм |
| Диаметр светового пучка |
3 мм |
| Интерфейс USB
|
|
|
| В комплект поставки входит: |
- Спектральный эллипсометр
- Гониометр с фиксированным
изменением угла падения
- Матричная система позиционирования образца
- Предметный столик с подвижками
- Источник излучения
- Оптоволоконный адаптер
- Малогабаритный быстродействующий
дифракционный монохроматор
- Персональный компьютер
- 19" LCD монитор
|
|
|
ПО для спектральных эллипсометров включает в себя пакет моделирования, симуляции и фитинга, что позволяет пользователю успешно решать сложные задачи.
Наше программное обеспечение предоставляет библиотеку оптических констант материалов и широкое число дисперсионных моделей диэлектрических функций для многих материалов.
Программа имеет интуитивно понятный интерфейс, удобна в использовании. Система управления позволяет проводить измерения в автоматическом режиме, моделировать результаты для дальнейшего их использования.
Основные возможности программы:
|
- Проведение спектральных измерений.
-
Использование дисперсионных моделей для различных материалов.
-
Обновление библиотек материалов.
-
Обширные возможности симуляции для всех видов эллипсометрических измерений, как функций угла падения света, длины волны и других параметров модели симуляции.
-
Самодокументирование программы в виде файлов измерения, рапортов, содержащих результаты симуляции и фитинга в текстовом и графическом виде.
|
|
Программа поддерживает описание следующих моделей свойств материалов:
|
- композитные материалы;
-
неравномерные неоднородные слои (линейные, параболические, Gaussian):
-
поддерживает широкий ряд параметризированных материалов (Cauchy, Sellmeier, Lorentz oscillator,Forouhi-Bloomer, и так далее).
|
